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半导体晶圆划片保护液 |
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DF268划片保护液特的特点有效地消除了硅尘的积聚,防止锌腐蚀,延长了叶片润滑的寿命,作为冷却剂,减少摩擦和热低泡沫中和静态电荷
DF268切割液采用非离子表面活性剂和其他功能成分配制,可应用于半导体晶圆切割工艺。它有效地消除硅尘颗粒,提供低和快速坍塌的泡沫轮廓,有助于阻止浓缩物或低稀释中的微生物生长活动,防止腐蚀,减少和中和静态电荷。除了清洗,DF268润滑叶片,在1:2000时显著降低摩擦和表面张力,并作为冷却剂,减少导致硅片裂纹的热量。
北京汐源科技有限公司 晶圆划片保护液,隐形切割保护液。
DF268切割液可在1加仑桶和5加仑桶。
基于玻璃通孔的MEMS封装
2013年,LEE等利用玻璃穿孔技术实现射频MEMS器件的晶圆级封装, 采用电
镀⽅案实现通孔的完全填充,通过该⽅案制作的射频MEMS器件在 20GHz时具
有0.197dB的低插⼊损耗和20.032dB的⾼返回损耗。2018年, LAAKSO等创造性
地使用磁辅助组装的⽅式来填充玻璃通孔,并用于 MEMS器件的封装中。
半导体晶圆划片保护液是一种用于半导体晶圆切割过程中的液体,主要起到润滑、冷却和保护作用。 它能够有效地减少切割过程中的摩擦和热量,防止晶圆受损,同时还能消毒和防止微生物生长,延长切割工具的寿命。
半导体晶圆划片保护液的主要成分包括非离子表面活性剂、消毒活性物质和其他功能性物质。这些成分能够消除硅尘颗粒,消毒生产系统,提供易于冲洗的低发泡液体,减少和中和静电荷。它们还能润滑切丁刀片,降低摩擦和表面张力,起到冷却剂的作用,减少导致硅片裂纹的热量。
半导体晶圆划片保护液的应用领域非常广泛,适用于各种半导体、硅片、芯片、晶圆等脆性材料的切削、磨削等机加工。它能够快速润湿晶圆表面,排出硅粉颗粒物,提高切割效能,降低芯片切割损伤,有效提高产品切割产能。
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